標(biāo)準粒子發(fā)生裝置 255
氣體塵埃粒子計數(shù)器的校正程序 • 校正所需設(shè)備 • 100 級潔凈房或潔凈臺 • 一臺用于作對比，尚在校正期內(nèi)的塵埃粒子計數(shù)器，如 Metone3400 • 各粒徑的標(biāo)準粒子，如 0.3um ; 0.5um ; 1um 等等 • 標(biāo)準粒子氣體產(chǎn)生器，如 Model 255 • 可產(chǎn)生脫離水（ DI 水）的純水系統(tǒng)或類似裝置 • 其它普通電器，如 220V 電源插座，萬用表等等 。
校正的基本原理
標(biāo)準粒子（如 0.301um ）通過 255 粒子產(chǎn)生器由液狀霧化成氣體，并由其內(nèi)置泵通過 0.2um 的過濾器后的干燥氣體進入取樣管路，這時，將兩臺相同塵埃粒子計數(shù)器同時或先后對取樣管進行抽樣測試，并比校 0.3um 粒徑的測試值。如果其平均值在 20% 以內(nèi)，認為合格。如果不同型號的粒子計數(shù)器，一定要弄清楚其流速，取樣時間，取樣次數(shù)等參數(shù)，并且，還要明白怎樣理解其測試結(jié)果。
三 . 校正的基本步驟：
現(xiàn)假設(shè)對一臺常見的 Metone227B 作校正
• 首先，要清楚 Metone3413 和 Metone227B 有何差別，其測試原理一樣，但 Metone3413 流速為 1CFM （立方英尺 / 分鐘），而 Metone227B 則為 0.1CFM 。
• 首先，請將潔凈臺開機，工作半小時，其間內(nèi)也打開 Metone227B 和 Metone3413 ，讓其預(yù)熱半小時。
• 準備好 255 的取樣器管，并搭接好其所有氣體管路。
• 將配好的標(biāo)準液（如 0.301um ）放入脫原子瓶中，注意勿讓液體超過噴嘴。
• 設(shè)置 Metone3413 和 Metone227B 的基本參數(shù)
• 取樣時間都設(shè)置為 00 ： 01 ： 00
• 取樣次數(shù)都設(shè)置 03
• 取樣模式都設(shè)置為 Auto
• 間隔時間都設(shè)置為 00 ： 00 ： 05
• 讀數(shù)模式都設(shè)置為 Cumulative
注：以上設(shè)置相同，因其流速有 10 倍差，故 Metone3413 測試結(jié)果會是 Metone227B 的 10 倍。
• 此時，打開 255 電源，調(diào)節(jié)脫原子氣體閥和干燥氣體閥，在調(diào)至噴嘴閥處呈氣霧出現(xiàn)，干燥氣體流速計約 60SCFH 時后，保持其工作狀態(tài)。
• 此時，讓 Metone227B 和 Metone3413 同時工作，看其三次的平均結(jié)果，若在 20% 以內(nèi)，視為合格。
• 拆下脫原子瓶，重新滴入其它標(biāo)準粒子，重復(fù)該測試。
• 以上校正只是對比校正，尚可用萬用表對其基本參數(shù)測量，用示波器對其信號捕捉等來輔助調(diào)校。
